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无尘室标准—无尘室(无尘车间)等级划分

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无尘室标准—无尘室(无尘车间)等级划分

无尘室标准—无尘室(无尘车间)等级划分

无尘室(洁净室)根据洁净程度不同分很多等级。

目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多,数字越小,洁净等级越高。

依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(洁净室)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级;

如果无尘室(洁净室)的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

一、联邦规格无尘室等级

二、无尘车间-无尘室(洁净室)标准等级

美国联邦标准209E (1992 年)PC/ft3

0.1

0.1

0.3

0.5

5.0

1

35

7.5

3

1

NA

10

350

75

30

10

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7

10000

NA

NA

NA

10000

70

100000

NA

NA

NA

100000

700

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